薄膜解析技術紹介セミナー ユーザー事例概要
2011.04.21
薄膜解析技術紹介セミナー ユーザー事例概要
事例1) Scripting & Optimization of thin film reactor design
(薄膜成形リアクタ設計におけるスクリプト処理と最適化の例)
CFD-ACE+は稼働条件検証や最適化設計のためにパラメータースタディの自動処理を行うことが可能です。
この事例では、CFD-ACE+のスクリプト機能を使用し(薄膜成形の)反応炉の設計検証を行ったものです。
目的関数を流れ場の分布の均一性とし、メッシャー(CFD-GEOM)、ソルバー(ACE-GUI)、ポスト(CFD-View)の全てをスクリプトによりコントロールしています。
このプロセスで、最適化設計のためのリアクタ内流れ場の変化を確認でき、この結果により、このシミュレーションプロセスが有効であることが示されました。
事例2) Standing Wave Effect in CCP Reactors using CFD-ACE+
(プラズマリアクタ中の定在波モデル)
容量結合型プラズマ(CCP)リアクタに於いて、装置の大型化,プラズマ励起周波数の増大に起因するリアクタ内に滞在する電磁波の影響の重要性は、以前から指摘されており、電磁波と放電特性の相互作用の解明は大きな技術的障壁となっていました。
電磁場とプラズマ物理のカップリングに対し、マルチフィジックスモデリングプラットフォームACE+に大幅な改良が加えられました。従来モデルでは電場のみがプラズマの輸送方程式に関与していたのに対し、改良モデルではベクトルポテンシャルを3-D,時間領域で解く事により、プラズマ電気伝導度の周波数依存性が考慮されます。
プラズマ輸送方程式で使用する電場はスカラー、ベクトル双方のポテンシャルから計算され、且つプラズマ吸収パワーは静電場に加え、電磁場からの寄与が加わります。
改良モデルでのシミュレーション結果を紹介すると共に、将来に向けての指針を示します。
事例3) Update on Plasma Technology Grid Project (予定)
CFD-ACEによるCCPシミュレーションと1Dコードによるシースモデルとのカップリングを行いました。
これによる機能拡張および強化を目的としたプロジェクト内容をご紹介します。
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